MEMS 器件开发：高效率 L-Edit 版图及定制工艺设计平台

Tanner (L-Edit) 在 MEMS 器件设计中的应用

会议时间

2022年08月02日 19:30 - 20:30

会议简介

Tanner L-Edit MEMS 是一种高级版图编辑器，具有曲面多边形和任意角度布尔运算等能够支持 MEMS 版图设计的功能。与其他专为机械工程而设计的 CAD 工具不同，L-Edit MEMS 以半导体产线的精度进行版图开发，针对 MEMS 器件特有的曲线结构可以实现直接绘制、图形逻辑运算及图层派生。同时可以无缝衔接 CAD 工具输出的数据格式，方便不同的设计团队在不同的设计阶段进行数据转换。利用众多强大的功能，例如出色的曲线支持、交互式 DRC、布尔运算、对象捕捉和对齐，可以更高效地开展工作，以节省时间和成本。

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会议日程

19:30-19:37

概述 Tanner/L-Edit 与 MEMS

19:37-20:09

L-Edit 用于 MEMS 版图设计的优势

20:09-20:21

基于 L-Edit 的 MEMS 3D 建模

20:21-20:30

问答环节

* 最终日程以活动当天为准

嘉宾介绍

宋琛

应用工程师，西门子 EDA